Tenders Guru Logo

Vákuumpárologtató beszerzése

  • Purchaser

    ELI-HU Nonprofit Kft.

  • Publication date

    Jul 28, 2020

  • Type

    3

  • Value Awarded

    20.8m Ft

  • Source

    EKR

    1 (egy) darab új, kisméretű vákuumpárolgotató berendezés, amely teljes kiépítésben, minden további kiegészítő nélkül alkalmas optikai minőségű arany, réz, ezüst rétegek leválasztására. A nyertes ajánlattevő feladatát képezi a berendezés üzembe helyezése és a szerződésben előírt betanítási szolgáltatás nyújtása is. Követelmények: • Rozsdamentes acél folyamatkamra 5x1e-6 mbar értéknél nem nagyobb nyomású végvákuummal, a tisztántartását megkönnyítő cserélhető belső védőlemezekkel. • A végvákuum elérését, és monitorozását biztosító vákuumrendszer: - 1 db elővákuumot biztosító rotációs szivattyú - 1 db nagy kapacitású turbomolekuáris szivattyú - a teljes nyomástartomány monitorozására alkalmas vákuummérő rendszer. • Kétféle fém egy leválasztási folyamatban történő termális párologtatását biztosító 2 db ellenállás fűtéses forrás, a hozzájuk tartozó sorrendi, azaz egymást követő leválasztást lehetővé tevő (egyenletesen változtatható kimeneti feszültségű) tápegységgel, kapcsolóval. • Forgatható szubsztrátumtartó több, 1cm x 1cm-es minta számára vagy egy, legalább 2,5 cm x 2,5 cm-es minta számára. • Legalább 20 cm-es forrás-szubsztrátumtartó távolság. • Volfrám csónak kezdőkészlet. • Rezgő kvarc kristályos mérőfej és kontroller a rétegek növekedésének mérésére és a forrás vezérlésére. • A szubsztrátumot és forrást elválasztó blende ("shutter"). • Hűtővíz-keringető rendszer.

    Awards

    Notices

    • Jul 28, 2020

      Invitation to participate

    • Oct 31, 2020

      Information on the outcome of the procedure

    SZERZODESSEL_KAPCSOLATOS_INFORMACIOK_BLOKK

    Összegezés az ajánlatok elbírálásáról