Tenders Guru Logo

Dostawa pięciu zbiorników napełnionych prekursorami chemicznymi do osadzania cienkich warstw metodą ALD

  • Purchaser

    Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Elektronowej

  • Publication date

    Oct 20, 2020

  • Type

    Przetarg nieograniczony

  • Value Awarded

    227.5k zł

    Przedmiotem zamówienia jest dostawa pięciu zbiorników napełnionych prekursorami chemicznymi, z tym, że zbiorniki mają być kompatybilne z urządzeniem TFS-200 Beneq (w siedzibie Zamawiającego) do osadzania cienkich warstw metodą ALD: 1) Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium (TEMAH), o czystości 99.99% i objętości 150ml, w zbiorniku podgrzewanym; 2) Trimethylaluminum (TMA), o czystości 99.99% i objętości 150ml, w zbiorniku na prekursory ciekłe; 3) Diethylzinc (DEZ), o czystości 99.9998% i objętości 15

    Awards

  • Notices

    • Oct 20, 2020

      Intention to award the contract

    • Nov 26, 2020

      Award of the contract